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空分分離在電子特氣制造中的應(yīng)用

空分分離在電子特氣制造中的應(yīng)用
空分分離技術(shù)在稀有氣體提純中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。它基于空氣中各組分沸點差異,通過低溫精餾等工藝實現(xiàn)分離。空氣經(jīng)壓縮、凈化、冷卻后進入精餾塔,在塔內(nèi)反復(fù)汽化、冷凝,利用氮、氧等主要組分與稀有氣體沸點不同,逐步分離出高純度稀有氣體。該技術(shù)能高效提取氦、氖、氬、氪、氙等稀有氣體,且產(chǎn)品純度高、產(chǎn)量穩(wěn)定。隨著技術(shù)發(fā)展,空分分離工藝不斷優(yōu)化,能耗降低、效率提高,為稀有氣體在電子、照明、醫(yī)療等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用提供了可靠保障。
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在低溫法空氣分離設(shè)備中,為了能使空氣溫度降低,在空分各系統(tǒng)中,需要各種換熱設(shè)備進行冷熱交換,例如:氮水預(yù)冷器、切換式換熱器、主換熱器、冷凝蒸發(fā)器、過冷器、液化器、汽化器、電加熱器等等。這些換熱設(shè)備配置在空分設(shè)備的各系統(tǒng),是空分設(shè)備實現(xiàn)空氣液化、氣體分離所必須的重要設(shè)備。
空分設(shè)備冷卻水循環(huán)是否完整連接如何檢查?
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