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空分制氬設(shè)備
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空分制氬設(shè)備使用全精餾制氬就是在粗氬塔中進(jìn)行氧一氬分離，直接得到氧含量小于1×10-6的粗氬，在精氬中再進(jìn)行氬一氮分離，得到純度為99.999%的精氬產(chǎn)品。越來越多的空分制氬設(shè)備采用了無氫制氬流程來制取高純度氬產(chǎn)品。
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