空氣分離在電子特氣制造中起著關(guān)鍵作用。電子特氣對(duì)純度等要求極高，空氣分離技術(shù)可有效獲取其原料。通過(guò)低溫精餾等方法，將空氣中的氮?dú)?、氧氣等分離提純。氮?dú)獬Ｓ糜陔娮悠骷圃熘械谋Ｗo(hù)氣氛，防止氧化；氧氣在部分工藝中作為氧化劑參與反應(yīng)。此外，空氣分離還可獲得稀有氣體，如氬氣用于半導(dǎo)體制造的濺射等環(huán)節(jié)，氦氣用于冷卻等。空氣分離為電子特氣制造提供了高純度基礎(chǔ)氣體，保障了電子特氣的質(zhì)量，助力電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展。